ЭЛЕМЕНТЫ ТЕПЛОВЫХ УЗЛОВ РОСТА МОНОКРИСТАЛЛОВ
Для роста монокристаллов кремния, сапфира, карбида кремния нужны высокие температуры. 1450⁰С, 2200-2350⁰С, 2450 – 2500⁰С.
Не многие материалы в теплоизоляции и конструктивные элементы могут справиться с такими температурами.
Наши материалы и изделия из них позволят Вам управлять уверенным ростом вышеперечисленных Монокристаллов.
Для роста монокристаллов кремния по методу Чохральского ООО «ГМК»
серийно выпускает следующие элементы тепловых узлов:
• позиции 1,5,6 – вертикальные экраны;
• позиции 2,3,4,7,8 – горизонтальные экраны;
• позиция 9,10 – внутренний и внешний рефлектор протока инертных газов;
• позиции 11 – обечайка под кварцевый тигель;
• позиции 12 – вертикальная теплоизоляция.
БОКОВЫЕ И ГОРИЗОНТАЛЬНЫЕ
ЭКРАНЫ
области применения
